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Laboratorio de Microsistemas

Laboratorio de Microsistemas
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Sala blanca

Zonas:

  • Zona de fotolitografía de clase 100
  • Zona de baños químicos de clase 1.000
  • Zona de proceso, caracterización y encapsulado, de clase 1.000
  • Sistema de ultrapurificación de agua y agua desionizada
  • Control medioambiental de los residuos

Equipo de fotolitografía:

  • Baño químico Ramgraber con diversos pozos para realizar las limpiezas de las muestras así como el revelado de la fotorresina, con y sin ultrasonidos. Dispone de 2 spinners para el depósito de la fotorresina y para realizar secados
  • Alineadora-insoladora de doble cara Karl Süss MA6/BA6 y EVG620

Equipos de proceso:

  • Horno de oxidación térmica seca o húmeda ATV PEO-601
  • Limpieza por plasma Harrick y Diener Pico
  • Sistema de recubrimiento Pfeiffer Vacuum Classic 500 con 4 magnetrones de 4” Ferrotec
  • Ink-jet printer Dimatix DMP-2800
  • Dr. Blade
  • Cámara de guantes con evaporador
  • Cámara de síntesis de quantum dots

Equipos de procesos químicos:

  • 2 baños químicos de propósito general Ramgraber para limpieza y procesado
  • Un baño químico de KOH Ramgraber
  • Sistema de parada electroquímica en KOH con potenciostato AMMT model SC

 

  • Sistema de porosificación/electropulido de silicio AMMT PSB
  • Sistema de electrodepósito Fibrotools Iko

Equipos de ataque seco: 

  • Sistema de ataque seco de óxidos RIE Oxford Plasmalab 80
  • Sistema de ataque profundo de silicio DRIE Oxford Plasmalab 80

Encapsulado:

  • Máquina de encapsulado a nivel de oblea (anodic bonding, eutéctico, silicio-silicio) Karl Süss SB6 y EVG510
  • Cortadora Disco DAD321
  • Máquina flexible de die attach y flip-chip Dr. Tresky 3002
  • Máquinas de interconexionado Kulicke & Soffa 4524 (ball-wedge) y 4523 (wedge-wedge)
  • Ensayos de pull and shear con el sistema Daga 4000

Caracterización:

  • Microscopio electrónico Quanta 200 con análisis de materiales EDAX Genesis 2000
  • Microscopio LEICA DM LM de hasta 1.000 aumentos
  • Estereomicroscopio Leica MZ 12.5, con cámara digital Leica DC200 y software IM 1000
  • Perfilómetro confocal sin contacto Atos

Índice de refracción Metricon Model 2010 Prism Coupler:

  • E Elipsómetro Sentech SE500
  • Resistencia de hoja Jandel multi-position
  • Equipamiento óptico para ensayos en guías de onda
  • Cámara climática Climats Excal 5424-HE para ensayos de temperatura y humedad
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